时间:2025-07-18阅读:1058次
在半导体产业的精密测试环节中,测试探针扮演着不可或缺的角色。作为连通芯片 / 晶圆与测试设备的核心零部件,它在芯片设计验证、晶圆测试、成品测试等关键环节中,承担着信号传输的重要任务,直接关系到半导体产品的质量控制。
探针主要由针头、针管、弹簧三个基本部件通过精密仪器铆压预压而成。由于半导体产品,尤其是芯片的尺寸极为细微,探针的尺寸要求达到微米级别,制造技术含量颇高。
在晶圆或芯片测试时,探针的作用是实现晶圆 / 芯片引脚或锡球与测试机之间的精密连接,从而完成信号传输,以此检测产品的导通、电流、功能和老化情况等性能指标。不同用途的探针,外观可能存在差异,但内部基本都有精密的弹簧结构。而且,产品表面通常会镀金,这一处理使其具备了很强的防腐蚀性、优良的电气性能、稳定的工作状态和持久的使用寿命。
作为半导体测试设备中的关键部件,探针的结构设计、材质选择、弹力大小等因素,都会对其稳定性、细微化程度、信号传导[敏感词]度等产生影响,进而影响探针的测试精度。
针头:直接接触被测器件的关键部位。针头头型的选用会直接影响测试的效果,针头有黄铜、钯合金、铍铜、SK4等几种材料。它们的硬度表现(黄铜<铍铜<钯合金<SK4),硬度越高针头也就越耐磨。
针管:提供机械支撑和信号传导通道。内部装有弹簧,主要有磷铜管、黄铜管、白铜管等几种材料。
弹簧:确保稳定的接触弹力。主要材料是不锈钢线及琴线。
不锈钢线有着耐腐蚀,耐高温,不易生锈等特性作为探针弹簧材料的[敏感词];
琴钢线弹性力值强,但受潮容易生锈,所以没有特定需求一般不使用琴钢线弹簧
镀层:探针表面镀层有镀镍、镀金。镀镍比较耐磨,镀金的电气性[敏感词]。
由于半导体产品的生产工艺十分繁杂,任何工序的差错都可能导致出现大量产品质量不合格,并对终端应用产品的性能造成重大影响,因此测试对于半导体产品的生产而言至关重要,贯穿半导体产品设计、制造、封装及应用的全过程。
探针是半导体测试中所需的重要耗材,通过与测试机、分选机、探针台配合使用,用于设计验证、晶圆测试、成品测试环节,筛选出产品设计缺陷和制造缺陷,在确保产品良率、控制成本、指导芯片设计和工艺改进等方面具有重要作用。
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